A new spatially and angularly resolved scatterometer - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

A new spatially and angularly resolved scatterometer

Adrien Bolliand
  • Fonction : Auteur
CONCEPT
Edith Hartmann
  • Fonction : Auteur
CONCEPT
Michel Lequime
  • Fonction : Auteur
CONCEPT
Myriam Zerrad
CONCEPT
CV
Claude Amra
CONCEPT
CV

Résumé

We present the main improvements to a scatterometer developed at the Fresnel Institute allowing the spatially resolved recording (up to 1 million elementary pixels) of the light transmitted or scattered by a plane sample.

Domaines

Optique / photonique Electromagnétisme Optique [physics.optics]

Adrien Bolliand  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03829164

Soumis le : mardi 25 octobre 2022-15:23:38

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:06:03

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Citer

Adrien Bolliand, Edith Hartmann, Michel Lequime, Myriam Zerrad, Claude Amra. A new spatially and angularly resolved scatterometer. Optical Interference Coatings, Jun 2022, Vancouver, Canada. pp.ThB.7, ⟨10.1364/OIC.2022.ThB.7⟩. ⟨hal-03829164⟩

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