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Communication Dans Un Congrès Année : 2022

A new spatially and angularly resolved scatterometer

Adrien Bolliand
  • Fonction : Auteur
Edith Hartmann
  • Fonction : Auteur
Michel Lequime
  • Fonction : Auteur
Myriam Zerrad
Claude Amra

Résumé

We present the main improvements to a scatterometer developed at the Fresnel Institute allowing the spatially resolved recording (up to 1 million elementary pixels) of the light transmitted or scattered by a plane sample.
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Dates et versions

Identifiants

Citer

Adrien Bolliand, Edith Hartmann, Michel Lequime, Myriam Zerrad, Claude Amra. A new spatially and angularly resolved scatterometer. Optical Interference Coatings, Jun 2022, Vancouver, Canada. pp.ThB.7, ⟨10.1364/OIC.2022.ThB.7⟩. ⟨hal-03829164⟩
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