Scanning thermal microscopy: Probing temperature and heat dissipation down to the few-nanometer scale,
Eloïse Guen
(1)
,
Antonin Mouhannad Massoud
(1)
,
Axel Pic
(1)
,
Christophe Lucchesi
(1)
,
Valeria Lacatena
(2, 3)
,
Maciej Haras
(2, 3)
,
Ali Alkurdi
(1)
,
J.F. Robillard
(2, 3)
,
Jean-Marie Bluet
(4)
,
Sebastien Gallois-Garreignot
(5)
,
Rodolphe Vaillon
(6, 7, 8, 9)
,
Séverine Gomès
(1)
,
Pierre-Olivier Chapuis
(1)
1
CETHIL -
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
2 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 INL - MFN - INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
6 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
7 NRJ - Énergie
8 PO - Photonique et Ondes
9 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique
2 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 INL - MFN - INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
6 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
7 NRJ - Énergie
8 PO - Photonique et Ondes
9 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique
Christophe Lucchesi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1113195
- IdHAL : christophe-lucchesi
Valeria Lacatena
- Fonction : Auteur
- PersonId : 771081
- ORCID : 0000-0003-3009-686X
Maciej Haras
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1103953
J.F. Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110
Jean-Marie Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448
Rodolphe Vaillon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20424
- IdHAL : rodolphe-vaillon
- ORCID : 0000-0002-8559-3604
- IdRef : 128903767
Séverine Gomès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171288
- IdHAL : severine-gomes
- ORCID : 0000-0002-1173-7177
- IdRef : 115013636
Pierre-Olivier Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266