High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
S. Barsoum
(1, 2)
,
C. Hellion
(1, 2)
,
E. Vermande
(1, 2)
,
J.M. Quemper
(1, 2)
,
M. Bousquet
(1, 2)
,
A. Reinhardt
(1, 2)
,
T. Laroche
(3)
,
S. Ballandras
(3)
,
Bertrand Dubus
(4, 5)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 Minatec
3 Frec'n'sys SASU - Frec'n'sys SASU
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 ACOUSTIQUE - IEMN - Acoustique - IEMN
2 Minatec
3 Frec'n'sys SASU - Frec'n'sys SASU
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 ACOUSTIQUE - IEMN - Acoustique - IEMN
Bertrand Dubus
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747756
- IdHAL : bertrand-dubus
- ORCID : 0000-0003-2226-8852
Résumé
We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.
Format du dépôt | Fichier |
---|---|
Type de dépôt | Communication dans un congrès |
Titre |
en
High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
|
Résumé |
en
We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.
|
Auteur(s) |
S. Barsoum
1, 2
, C. Hellion
1, 2
, E. Vermande
1, 2
, J.M. Quemper
1, 2
, M. Bousquet
1, 2
, A. Reinhardt
1, 2
, T. Laroche
3
, S. Ballandras
3
, Bertrand Dubus
4, 5
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
( 40214 )
- MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9
- France
2
Minatec
( 301905 )
-
- France
3
Frec'n'sys SASU -
Frec'n'sys SASU
( 245009 )
- 18 rue Alain Savary - 25000 Besançon
- France
4
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
( 1066983 )
- [Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille Institut, Junia, Univ. Polytechnique Hauts-de-France] ––
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX
- France
5
ACOUSTIQUE - IEMN -
Acoustique - IEMN
( 1067378 )
- Groupe Acoustique - (Acoustic Group) -
JUNIA - 41 Bd Vauban - 59800 LILLE
- France
|
Source |
2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)
|
Volume |
2022
|
Titre du congrès |
EFTF/IFCS 2022 - Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium
|
URL du congrès ou éditeur |
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9850393/proceeding
|
Langue du document |
Anglais
|
Vulgarisation |
Non
|
Comité de lecture |
Oui
|
Invité |
Non
|
Audience |
Internationale
|
Actes |
Oui
|
Page/Identifiant |
1-4
|
Date début congrès |
2022-04-24
|
Date fin congrès |
2022-04-28
|
Ville |
Paris
|
Pays |
France
|
Commentaire |
Oral presentation in Session - Surface Acoustic Wave Devices
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Référence interne |
|
Domaine(s) |
|
Éditeur commercial |
|
Mots-clés |
en
Hybrid SAW/BAW resonators, High quality factor, AlN
|
DOI | 10.1109/EFTF/IFCS54560.2022.9850764 |
UT key WOS | 000856135000078 |
Origine :
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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