Development of a silicon substrate thinning process for a flexible and self-sufficient neuroelectronic implant - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Development of a silicon substrate thinning process for a flexible and self-sufficient neuroelectronic implant

Chakrya-Anna Chhuon
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Hélène Moulet
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Alexis Vlandas
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN
Philippe Mariage
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
CV
Marc Faucher
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Nano and Microsystems - IEMN
Flavie Braud
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
Christel Vanbesien
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
Virginie Hoel
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
Abstract IEEE.pdf (124.93 Ko) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Chakrya-Anna Chhuon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03778069

Soumis le : jeudi 15 septembre 2022-12:47:43

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-13:26:03

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-03778069 , version 1 (15-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03778069 , version 1

Citer

Chakrya-Anna Chhuon, Hélène Moulet, Alexis Vlandas, Philippe Mariage, Marc Faucher, et al.. Development of a silicon substrate thinning process for a flexible and self-sufficient neuroelectronic implant. IEEE Lille Engineering dor Medicine and Biology Conference, IEEE Lille Student Branch, Apr 2022, Lille, France. ⟨hal-03778069⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE ANR RENATECH
82 Consultations
26 Téléchargements

Partager

More