High-speed photodiodes on silicon nitride with a bandwidth beyond 100 GHz
Dennis Maes
(1, 2)
,
Luis Reis
(1)
,
Stijn Poelman
(1)
,
Ewoud Vissers
(1)
,
Vanessa Avramovic
(3)
,
Mohammed Zaknoune
(4)
,
Gunther Roelkens
(1)
,
Sam Lemey
(1)
,
Emilien Peytavit
(5)
,
Bart Kuyken
(6, 1)
1
INTEC -
Department of Information Technology
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 PCMP - IEMN - Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
4 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
5 PHOTONIQUE THZ - IEMN - Photonique THz - IEMN
6 Photonics Research Group
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
3 PCMP - IEMN - Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
4 ANODE - IEMN - Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
5 PHOTONIQUE THZ - IEMN - Photonique THz - IEMN
6 Photonics Research Group
Dennis Maes
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Vanessa Avramovic
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Emilien Peytavit
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Résumé
Next-generation telecommunication systems will rely on photonic integrated circuits. However, Silicon Nitride (SiN) photonic platforms do not natively provide high-speed photodiodes. We integrated a waveguide-coupled UTC photodiode on a SiN platform using the scalable micro-transfer-printing technology. These diodes show a responsivity up to 0 . 45 A/W, a dark current below 10 nA and a 3 dB-bandwidth beyond 100 GHz, even at zero-bias. As such, high-performance photodetectors are available on silicon-nitride photonic platforms.
Format du dépôt | Fichier |
---|---|
Type de dépôt | Communication dans un congrès |
Titre |
en
High-speed photodiodes on silicon nitride with a bandwidth beyond 100 GHz
|
Résumé |
en
Next-generation telecommunication systems will rely on photonic integrated circuits. However, Silicon Nitride (SiN) photonic platforms do not natively provide high-speed photodiodes. We integrated a waveguide-coupled UTC photodiode on a SiN platform using the scalable micro-transfer-printing technology. These diodes show a responsivity up to 0 . 45 A/W, a dark current below 10 nA and a 3 dB-bandwidth beyond 100 GHz, even at zero-bias. As such, high-performance photodetectors are available on silicon-nitride photonic platforms.
|
Auteur(s) |
Dennis Maes
1, 2
, Luis Reis
1
, Stijn Poelman
1
, Ewoud Vissers
1
, Vanessa Avramovic
3
, Mohammed Zaknoune
4
, Gunther Roelkens
1
, Sam Lemey
1
, Emilien Peytavit
5
, Bart Kuyken
6, 1
1
INTEC -
Department of Information Technology
( 99584 )
- Ghent University - IMEC, Sint-Pietersnieuwstraat 41, B-9000 Gent
- Belgique
2
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
( 1066983 )
- [Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille Institut, Junia, Univ. Polytechnique Hauts-de-France] ––
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX
- France
3
PCMP - IEMN -
Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
( 1067502 )
- France
4
ANODE - IEMN -
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN
( 1067380 )
- Groupe ANODE (Composants et dispositifs nanométriques) - IEMN LCI - Avenue Poincaré - CS 60069
59650 Villeneuve d'Ascq
- France
5
PHOTONIQUE THZ - IEMN -
Photonique THz - IEMN
( 1067488 )
- Groupe Photonique THz - IEMN UMR8520 - (Terahertz Photonics)
- France
6
Photonics Research Group
( 237669 )
- INTEC - Ghent University - IMEC Sint-Pietersnieuwstraat 41, 9000 Gent
- Belgique
|
Langue du document |
Anglais
|
Titre du congrès |
CLEO: Science and Innovations 2022
|
Date début congrès |
2022-05-15
|
Date fin congrès |
2022-05-20
|
Pays |
États-Unis
|
Actes |
Oui
|
Page/Identifiant |
SM3K.3
|
Ville |
San Jose, CA
|
Source |
Proceedings Conference on Lasers and Electro-Optics
|
Vulgarisation |
Non
|
Comité de lecture |
Oui
|
Invité |
Non
|
Audience |
Internationale
|
Commentaire |
Session Photodetection (SM3K)
|
Organisateur du congrès |
|
Domaine(s) |
|
Éditeur commercial |
|
Référence interne |
|
Collaboration/Projet |
|
DOI | 10.1364/CLEO_SI.2022.SM3K.3 |
Origine :
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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