First developments towards TiO2 nanoimprint for photonic sensor fabrication - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03762014 , version 1 (26-08-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03762014 , version 1

Citer

Huiru Ren, Celine Chevalier, Nicolas Crespo-Monteiro, Taha Benyattou, Cecile Jamois. First developments towards TiO2 nanoimprint for photonic sensor fabrication. JOURNÉE NATIONALE DE LA LITHOGRAPHIE PAR NANO-IMPRESSION 2021 (J-NIL 2021), Nov 2021, visioconference, France. ⟨hal-03762014⟩
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