[Tutorial] Microfabrication of THz on-wafer calibration kits and nanorobotics on-wafer probing station
Kamel Haddadi
(1, 2)
,
Isabelle Roch-Jeune
(1, 3)
Kamel Haddadi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745983
- IdHAL : kamel-haddadi
- ORCID : 0000-0002-4857-5220
- IdRef : 124600530
Isabelle Roch-Jeune
- Fonction : Auteur
- PersonId : 743064
- IdHAL : isabelle-roch
- ORCID : 0000-0002-4443-8894
- IdRef : 253123348
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]Format du dépôt | Notice |
---|---|
Type de dépôt | Autre publication scientifique |
Titre |
en
[Tutorial] Microfabrication of THz on-wafer calibration kits and nanorobotics on-wafer probing station
|
Auteur(s) |
Kamel Haddadi
1, 2
, Isabelle Roch-Jeune
1, 3
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
( 1066983 )
- [Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille Institut, Junia, Univ. Polytechnique Hauts-de-France] ––
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX
- France
2
CSAM - IEMN -
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
( 1067382 )
- Groupe CSAM - IEMN
- CCHB IRCICA - 50 Avenue Halley - 59650 Villeneuve d'Ascq
- France
3
CMNF - IEMN -
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
( 1067406 )
- Groupe Centrale de Micro Nano Fabrication CMNF - IEMN UMR8520 -
Membre du réseau RENATECH des grandes centrales de Micro Nano Fabrication
- France
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Langue du document |
Anglais
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Titre de l'ouvrage |
TEMMT Project Training Courses
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Vulgarisation |
Non
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Date de publication |
2022-07-13
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Description |
TEMMT Project Training Courses. This event is sponsored by the European Metrology Programme for Innovation and Research program 18SIB09 TEMMT project (http://projects.lne.eu/jrp-temmt/). The course will include seven oral presentations about some research outputs of TEMMT project and one open discussion session.
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Domaine(s) |
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Référence interne |
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Collaboration/Projet |
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Financement |
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Mots-clés |
en
Microfabrication, Tutorial, calibration kits, THz, probing station
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