Erratum: Multi frequency matching for voltage waveform tailoring (2018 Plasma Sources Sci. Technol. 27 095012)
Frederik Schmidt
(1)
,
Julian Schulze
(1)
,
Erik Johnson
(2)
,
Jean-Paul Booth
(3)
,
Douglas Keil
(4)
,
David M. French
(4)
,
Jan Trieschmann
(5)
,
Thomas Mussenbrock
(5)
1
RUB -
Ruhr University Bochum = Ruhr-Universität Bochum
2 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
3 LPP - Laboratoire de Physique des Plasmas
4 Lam Research Corp., Tualatin, OR 97062, United States of America
5 ZARM - Zentrum für Angewandte Raumfahrttechnologie und Mikrogravitation
2 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
3 LPP - Laboratoire de Physique des Plasmas
4 Lam Research Corp., Tualatin, OR 97062, United States of America
5 ZARM - Zentrum für Angewandte Raumfahrttechnologie und Mikrogravitation
Erik Johnson
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739097
- IdHAL : erikvjohnson
- ORCID : 0000-0003-0920-2111
- IdRef : 253120209