Mesures hyperfréquences ‘On-Wafer’ d’impédances extrêmes : Limitations et Solutions - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Mesures hyperfréquences ‘On-Wafer’ d’impédances extrêmes : Limitations et Solutions

Résumé

Ce travail adresse la problématique de la caractérisation hyperfréquence sous pointes (‘on-wafer’) de composants présentant des impédances extrêmes hautes ou basses. Les termes d’erreurs résiduels issus de multiples calibrages vectoriels effectués sur une station de mesure sous pointes conventionnelle ont été quantifiés et propagées à la détermination d’impédances complexes. Deux configurations de mesure ont été étudiées. Plus particulièrement, le déplacement mécanique des sondes a été effectué suivant l’axe Z uniquement dans la première configuration, et suivant les axes X-Y-Z dans la deuxième. Les erreurs engendrées par les déplacements des sondes démontrent la nécessité d’améliorer la répétabilité du posé. Ainsi, les premières étapes du développement d’une station de mesure compacte, robotisée et automatisée sont présentées. Des premiers tests de mesures brutes, comparés avec les mesures issues de la station sous pointes manuelle, démontrent la pertinence et l’intérêt de la solution proposée.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03702591 , version 1 (23-06-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03702591 , version 1

Citer

Cerine Mokhtari, Mohamed Sebbache, Kamel Haddadi. Mesures hyperfréquences ‘On-Wafer’ d’impédances extrêmes : Limitations et Solutions. XXIIèmes Journées Nationales Microondes, Jun 2022, Limoges, France. ⟨hal-03702591⟩
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