Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas

C Vallée; A Goullet; A Granier; Arie van Der Lee; J Durand; C Marlière

doi:10.1016/S0022-3093(00)00232-5

Article Dans Une Revue Journal of Non-Crystalline Solids Année : 2000

Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas

, , , (1) , ,

1

C Vallée

Fonction : Auteur

A Goullet

Fonction : Auteur
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IdRef : 077635167

A Granier

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Arie van Der Lee

Fonction : Auteur
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Institut Européen des membranes

J Durand

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C Marlière

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https://hal.science/hal-03684323

Soumis le : mercredi 1 juin 2022-12:15:51

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Dates et versions

hal-03684323 , version 1 (01-06-2022)

Identifiants

HAL Id : hal-03684323 , version 1
DOI : 10.1016/S0022-3093(00)00232-5

Citer

C Vallée, A Goullet, A Granier, Arie van Der Lee, J Durand, et al.. Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas. Journal of Non-Crystalline Solids, 2000, 272 (2-3), pp.163-173. ⟨10.1016/S0022-3093(00)00232-5⟩. ⟨hal-03684323⟩

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