Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Non-Crystalline Solids Année : 2000

Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas

C Vallée
  • Fonction : Auteur
A Goullet
A Granier
Arie van Der Lee
J Durand
  • Fonction : Auteur
C Marlière
  • Fonction : Auteur

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03684323 , version 1 (01-06-2022)

Identifiants

Citer

C Vallée, A Goullet, A Granier, Arie van Der Lee, J Durand, et al.. Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas. Journal of Non-Crystalline Solids, 2000, 272 (2-3), pp.163-173. ⟨10.1016/S0022-3093(00)00232-5⟩. ⟨hal-03684323⟩
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