2D Model for moisture diffusion in integrated Low-k dielectrics - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03666398 , version 1 (12-05-2022)

Identifiants

Citer

Leo Mischler, Vivien Cartailler, Genevieve Duchamp, Helene Fremont, Gregory Imbert, et al.. 2D Model for moisture diffusion in integrated Low-k dielectrics. 2022 23rd International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), Apr 2022, St Julian, France. pp.1-6, ⟨10.1109/EuroSimE54907.2022.9758882⟩. ⟨hal-03666398⟩
18 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More