Poster De Conférence
Année : 2016
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03635072
Soumis le : vendredi 8 avril 2022-10:56:03
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03635072 , version 1
Citer
Arnaud Pageau, Christiane Legrand, Garrett Curley, Dmitri Yarekha. Application de la gravure plasma à la réalisation de composants micro-nanoélectroniques au sein de la centrale technologique de l’IEMN. JNMO 2016, May 2016, Les Issambres, France. ⟨hal-03635072⟩
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