Application de la gravure plasma à la réalisation de composants micro-nanoélectroniques au sein de la centrale technologique de l’IEMN - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03635072 , version 1 (08-04-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03635072 , version 1

Citer

Arnaud Pageau, Christiane Legrand, Garrett Curley, Dmitri Yarekha. Application de la gravure plasma à la réalisation de composants micro-nanoélectroniques au sein de la centrale technologique de l’IEMN. JNMO 2016, May 2016, Les Issambres, France. ⟨hal-03635072⟩
16 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More