Poster De Conférence
Année : 2018
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03635053
Soumis le : vendredi 8 avril 2022-10:48:05
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03635053 , version 1
Citer
Dmitri Yarekha. Application de la gravure plasma à la réalisation des composants micro-nanoélectroniques à base du Si au sein de la centrale technologique de l’IEMN. Colloque LN2, Jul 2018, Autrans, France. 2018. ⟨hal-03635053⟩
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