Poster De Conférence
Année : 2019
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03635035
Soumis le : vendredi 8 avril 2022-10:36:31
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03635035 , version 1
Citer
Dmitri Yarekha. Dry etching at IEMN. Euronanolab Dry Etch Expert meeting, Dec 2019, Saclay, France. 2019. ⟨hal-03635035⟩
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