Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide - Archive ouverte HAL
Rapport (Rapport Technique) Année : 2019

Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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https://hal.science/hal-03603368

Soumis le : mercredi 9 mars 2022-18:35:50

Dernière modification le : mercredi 11 décembre 2024-14:14:28

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hal-03603368 , version 1 (09-03-2022)

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  • HAL Id : hal-03603368 , version 1

Citer

Laurent Mazenq, Lucien Schwab, Nicolas Mauran, Denis Lagrange, Xavier Dollat, et al.. Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide. [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2019. ⟨hal-03603368⟩

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