[Invited workshop] Nanorobotic On-Wafer Probe Station Under Scanning Electron Microscope - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

[Invited workshop] Nanorobotic On-Wafer Probe Station Under Scanning Electron Microscope

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-03582098

Soumis le : lundi 21 février 2022-09:16:09

Dernière modification le : jeudi 14 novembre 2024-12:23:31

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03582098 , version 1 (21-02-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03582098 , version 1

Citer

Kamel Haddadi. [Invited workshop] Nanorobotic On-Wafer Probe Station Under Scanning Electron Microscope. 15th European Microwave Week - Workshop Measurements at mmWave and Terahertz Frequencies of Three Measurement Quantities: S-Parameters, Power, and Complex Permittivity of Dielectric Materials, Jan 2021, Utrecht, Netherlands. ⟨hal-03582098⟩

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