Elastic modulus of TiHfCN thin films by instrumented indentation - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2012

Elastic modulus of TiHfCN thin films by instrumented indentation

Eli Saúl Puchi-Cabrera
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 957581
R. Aumaitre
  • Fonction : Auteur
G. Bouscarrat
  • Fonction : Auteur
C. Dublanche-Tixier
  • Fonction : Auteur
F. Roudet
  • Fonction : Auteur
M.H. Staia
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-03577726 , version 1 (16-02-2022)

Identifiants

Citer

Didier Chicot, Eli Saúl Puchi-Cabrera, R. Aumaitre, G. Bouscarrat, C. Dublanche-Tixier, et al.. Elastic modulus of TiHfCN thin films by instrumented indentation. Thin Solid Films, 2012, 522, pp.304-313. ⟨10.1016/j.tsf.2012.08.022⟩. ⟨hal-03577726⟩
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