Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2015
Didier Chicot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03577650
Soumis le : mercredi 16 février 2022-17:47:17
Dernière modification le : mardi 27 août 2024-12:53:57
Citer
F. Roudet, Didier Chicot, X. Decoopman, A. Iost, J. Bürgi, et al.. Modeling of very thin aluminum nitride film mechanical properties from nanoindentation measurements. Thin Solid Films, 2015, 594, pp.129-137. ⟨10.1016/j.tsf.2015.10.010⟩. ⟨hal-03577650⟩
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