Modeling of very thin aluminum nitride film mechanical properties from nanoindentation measurements - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2015

Modeling of very thin aluminum nitride film mechanical properties from nanoindentation measurements

F. Roudet
  • Fonction : Auteur
X. Decoopman
  • Fonction : Auteur
A. Iost
J. Bürgi
  • Fonction : Auteur
J. Garcia-Molleja
  • Fonction : Auteur
L. Nosei
  • Fonction : Auteur
J. Feugeas
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03577650 , version 1 (16-02-2022)

Identifiants

Citer

F. Roudet, Didier Chicot, X. Decoopman, A. Iost, J. Bürgi, et al.. Modeling of very thin aluminum nitride film mechanical properties from nanoindentation measurements. Thin Solid Films, 2015, 594, pp.129-137. ⟨10.1016/j.tsf.2015.10.010⟩. ⟨hal-03577650⟩
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