Article Dans Une Revue
NATO ASI Ser., Ser. 2
Année : 2002
Didier Tonneau : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03523769
Soumis le : mercredi 12 janvier 2022-20:20:55
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03523769 , version 1
Citer
D. Tonneau, Y. Pauleau. Reaction Mechanisms in Laser-assisted Chemical Vapor Deposition of Microstructures. NATO ASI Ser., Ser. 2, 2002, 55, pp.223-254. ⟨hal-03523769⟩
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