Silicon nitride drum based microwave optomechanical system for the thermal brownian motion sensing - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Silicon nitride drum based microwave optomechanical system for the thermal brownian motion sensing

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Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-03463810

Soumis le : jeudi 2 décembre 2021-16:35:32

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:47:20

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03463810 , version 1 (02-12-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03463810 , version 1

Citer

Srisaran Venkatachalam, Ronghua Zhou, Andrew Fefferman, Mohammed Zaknoune, Eddy Collin, et al.. Silicon nitride drum based microwave optomechanical system for the thermal brownian motion sensing. 3rd IEEE Sensors France International Workshop 2020, Nov 2020, Lille, France. ⟨hal-03463810⟩

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