Towards La2/3Sr1/3MnO3/SrTiO3/Si resonant MEMS with an epitaxial AlN actuation layer
Laryssa Carvalho de Araujo
(1)
,
Bertrand Vilquin
(2, 3)
,
Victor Pierron
(1)
,
Bernadette Domengès
(4)
,
Zhe Wang
(5)
,
Darrell G. Schlom
(5)
,
Laurence Méchin
(1)
Bertrand Vilquin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18099
- IdHAL : bertrand-vilquin
- ORCID : 0000-0002-7404-0019
- IdRef : 070480885
Victor Pierron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1059235
Bernadette Domengès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177154
- IdHAL : bdomenges
- ORCID : 0000-0002-8550-0279
- IdRef : 112272231
Laurence Méchin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173715
- IdHAL : laurence-mechin
- ORCID : 0000-0002-6350-1801
- IdRef : 124650546