Towards epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/La2/3Sr1/3MnO3/SrTiO3 based resonant MEMS on Si - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Towards epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/La2/3Sr1/3MnO3/SrTiO3 based resonant MEMS on Si

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03431691 , version 1 (16-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03431691 , version 1

Citer

Laryssa Carvalho de Araujo, J J Manguele, Bertrand Vilquin, Zhe Wang, Carolina Adamo, et al.. Towards epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/La2/3Sr1/3MnO3/SrTiO3 based resonant MEMS on Si. JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, Aug 2021, ONLINE - Rennes, France. pp.1. ⟨hal-03431691⟩
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