La préparation du silicium pour l’hétéroépitaxie - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

La préparation du silicium pour l’hétéroépitaxie

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03408428 , version 1 (29-10-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03408428 , version 1

Citer

Charles Cornet. La préparation du silicium pour l’hétéroépitaxie. Conférence GDR PULSE sur la préparation des substrats pour l'épitaxie 2018, May 2018, Lille, France. ⟨hal-03408428⟩
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