Atomic-Scale Structure and Its Impact on Chemical Properties of Aluminum Oxide Layers Prepared by Atomic Layer Deposition on Silica
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MatériauxOrigine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Soumis le : mercredi 6 octobre 2021-14:47:44
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Archivage à long terme le : vendredi 7 janvier 2022-19:04:41