Design and fabrication of an ultra-thin silicon vapor chamber for compact electronic cooling
Quentin Struss
(1)
,
Perceval Coudrain
(1)
,
Jean-Philippe Colonna
(1)
,
Abdelkader Souifi
(2)
,
Christian Gontrand
(3)
,
Edouard Deschaseaux
(1)
,
Gaelle Mauguen
(1)
,
Vincent Mathieu
(1)
,
Thomas Magis
(1)
,
Gilles Simon
(1)
,
Luc Frechette
(2, 4)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Vincent Mathieu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 762657
- IdRef : 074750704
Gilles Simon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 756529
- IdRef : 059737867