Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2021

Three-dimensional luminescence microscopy for quantitative plasma characterization in bulk semiconductors

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hal-03350812 , version 1 (21-09-2021)

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A Wang, A Das, J Hermann, D Grojo. Three-dimensional luminescence microscopy for quantitative plasma characterization in bulk semiconductors. Applied Physics Letters, 2021, 119 (4), pp.041108. ⟨10.1063/5.0059431⟩. ⟨hal-03350812⟩
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