Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2021

Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry

Moustapha Godi Tchéré
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1373600
  • IdRef : 276976401
Laboratoire Hubert Curien
Stéphane Robert
Laboratoire Hubert Curien
Zaki Sabit Fawzi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1411972
  • IdRef : 234692820
Ecole Nationale Supérieure des Technologies de l’Information et de la Communication
Bernard Bayard
Laboratoire Hubert Curien
Damien Jamon
Laboratoire Hubert Curien
CV
Cécile Gourgon
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Optique / photonique

Stéphane Robert  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03335950

Soumis le : lundi 6 septembre 2021-16:19:03

Dernière modification le : jeudi 12 septembre 2024-09:33:26

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03335950 , version 1 (06-09-2021)

Identifiants

Citer

Moustapha Godi Tchéré, Stéphane Robert, Zaki Sabit Fawzi, Bernard Bayard, Damien Jamon, et al.. Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry. Applied optics, 2021, 60 (26), pp.7929. ⟨10.1364/AO.432987⟩. ⟨hal-03335950⟩

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