Article Dans Une Revue
Applied optics
Année : 2021
Stéphane Robert : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03335950
Soumis le : lundi 6 septembre 2021-16:19:03
Dernière modification le : mardi 9 juillet 2024-11:00:04
Citer
Moustapha Godi Tchéré, Stéphane Robert, Zaki Sabit Fawzi, Bernard Bayard, Damien Jamon, et al.. Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry. Applied optics, 2021, 60 (26), pp.7929. ⟨10.1364/AO.432987⟩. ⟨hal-03335950⟩
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