Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2021
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Dates et versions

hal-03335950 , version 1 (06-09-2021)

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Citer

Moustapha Godi Tchéré, Stéphane Robert, Zaki Sabit Fawzi, Bernard Bayard, Damien Jamon, et al.. Experimental identification of a grating profile using neural network classifiers in optical scatterometry. Applied optics, 2021, 60 (26), pp.7929. ⟨10.1364/AO.432987⟩. ⟨hal-03335950⟩
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