Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1992
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328893
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:21:25
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Citer
P. Jeanjean, P. Sellitto, J. Sicart, J.L. Robert, Martine Le Berre, et al.. Rapid thermal annealing of LPCVD-SOI substrates for sensor applications. Sensors and Actuators A: Physical , 1992, 33 (1-2), pp.77-80. ⟨10.1016/0924-4247(92)80230-Z⟩. ⟨hal-03328893⟩
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