Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1996
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328867
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:13:15
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328867 , version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(97)80041-6
Citer
Martine Le Berre, P. Kleimann, B. Semmache, D. Barbier, P. Pinard. Electrical and piezoresistive characterization of boron-doped LPCVD polycrystalline silicon under rapid thermal annealing. Sensors and Actuators A: Physical , 1996, 54 (1-3), pp.700-703. ⟨10.1016/S0924-4247(97)80041-6⟩. ⟨hal-03328867⟩
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