Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 2000
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328845
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:01:55
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:06:35
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328845 , version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(99)00350-7
Citer
A Chouaf, Ch Malhaire, Martine Le Berre, M Dupeux, F Pourroy, et al.. Stress analysis at singular points of micromachined silicon membranes. Sensors and Actuators A: Physical , 2000, 84 (1-2), pp.109-115. ⟨10.1016/S0924-4247(99)00350-7⟩. ⟨hal-03328845⟩
Collections
17
Consultations
0
Téléchargements