Stress analysis at singular points of micromachined silicon membranes - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2000

Stress analysis at singular points of micromachined silicon membranes

A Chouaf
  • Fonction : Auteur
Ch Malhaire
  • Fonction : Auteur
Martine Le Berre
F Pourroy
  • Fonction : Auteur
D Barbier
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-03328845 , version 1 (30-08-2021)

Identifiants

Citer

A Chouaf, Ch Malhaire, Martine Le Berre, M Dupeux, F Pourroy, et al.. Stress analysis at singular points of micromachined silicon membranes. Sensors and Actuators A: Physical , 2000, 84 (1-2), pp.109-115. ⟨10.1016/S0924-4247(99)00350-7⟩. ⟨hal-03328845⟩
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