Optimisation of RF magnetron sputtering and RTA-crystallisation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin films by means of the orthogonal array method - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Science and Engineering: B Année : 1998

Optimisation of RF magnetron sputtering and RTA-crystallisation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin films by means of the orthogonal array method

Emmanuel Defay
  • Fonction : Auteur
Martine Le Berre
Bachir Semmache
  • Fonction : Auteur
Michel Troccaz
  • Fonction : Auteur
Daniel Barbier
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-03328842 , version 1 (30-08-2021)

Identifiants

Citer

Emmanuel Defay, Martine Le Berre, Bachir Semmache, Michel Troccaz, Daniel Barbier. Optimisation of RF magnetron sputtering and RTA-crystallisation of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin films by means of the orthogonal array method. Materials Science and Engineering: B, 1998, 55 (1-2), pp.123-129. ⟨10.1016/S0921-5107(98)00172-X⟩. ⟨hal-03328842⟩
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