Metal/insulator/semiconductor contacts for ultimately scaled CMOS nodes: projected benefits and remaining challenges - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Metal/insulator/semiconductor contacts for ultimately scaled CMOS nodes: projected benefits and remaining challenges

Julien Borrel
  • Fonction : Auteur correspondant
  • PersonId : 1108081

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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
STMicroelectronics [Grenoble]
Louis Hutin
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Helen Grampeix
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Emmanuel Nolot
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Magali Tessaire
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Guillaume Rodriguez
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Yves Morand
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Grenoble]
Fabrice Nemouchi
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Magali Gregoire
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Grenoble]
Emmanuel Dubois
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
Maud Vinet
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Résumé

In this paper, some key fundamental aspects of Metal / Insulator / Semiconductor contacts as well as practical issues occurring with their implementation are reviewed in order to fully comprehend the opportunities and limitations of this approach.

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03325000

Soumis le : mardi 24 août 2021-11:34:38

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03325000 , version 1 (24-08-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03325000 , version 1

Citer

Julien Borrel, Louis Hutin, Helen Grampeix, Emmanuel Nolot, Magali Tessaire, et al.. Metal/insulator/semiconductor contacts for ultimately scaled CMOS nodes: projected benefits and remaining challenges. IWJT 2016 - 16th International Workshop on Junction Technology, May 2016, Shanghai, China. pp.14-19. ⟨hal-03325000⟩

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