Article Dans Une Revue
Journal of Applied Physics
Année : 2000
Jérôme Vasseur : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03301906
Soumis le : mardi 27 juillet 2021-16:40:36
Dernière modification le : vendredi 19 juillet 2024-11:38:04
Citer
Jerome O. Vasseur, P. Deymier, A. Khelif, Bahram Djafari-Rouhani, J. Vasseur, et al.. Theoretical calculation of the acoustic force on a patterned silicon wafer during megasonic cleaning. Journal of Applied Physics, 2000, 88 (5), pp.2423-2429. ⟨10.1063/1.1287224⟩. ⟨hal-03301906⟩
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