Atom probe tomography quantification of carbon in silicon - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Ultramicroscopy Année : 2021

Atom probe tomography quantification of carbon in silicon

Sébastien Duguay
J. Borrel
F. Hilario
Didier Blavette
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hal-03249568 , version 1 (07-11-2022)

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P. Dumas, Sébastien Duguay, J. Borrel, F. Hilario, Didier Blavette. Atom probe tomography quantification of carbon in silicon. Ultramicroscopy, 2021, 220, pp.113153. ⟨10.1016/j.ultramic.2020.113153⟩. ⟨hal-03249568⟩
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