Low temperature carbon co-implantation in silicon: Defects suppression and diffusion modeling
P. Dumas
(1)
,
P.-L. Julliard
(1)
,
J. Borrel
(1)
,
Sébastien Duguay
(2)
,
F. Hilario
(1)
,
F. Deprat
(1)
,
V. Lu
(3)
,
W. Zhao
(3)
,
W Zou
(3)
,
E. Arevalo
(3)
,
Didier Blavette
(2)
P. Dumas
- Fonction : Auteur
- PersonId : 755720
- ORCID : 0000-0003-0480-2775
J. Borrel
- Fonction : Auteur
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Sébastien Duguay
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : sebastien-duguay
- ORCID : 0000-0002-7039-6018
F. Hilario
- Fonction : Auteur
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Didier Blavette
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174476
- IdHAL : didier-blavette
- ORCID : 0000-0001-6979-2155
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