Highly efficient and low-cost multispectral photodetector based on RF sputtered a-Si/Ti multilayer structure for Si-photonics applications - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Alloys and Compounds Année : 2021

Highly efficient and low-cost multispectral photodetector based on RF sputtered a-Si/Ti multilayer structure for Si-photonics applications

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Soumis le : mercredi 29 septembre 2021-13:19:21

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hal-03249129 , version 1 (29-09-2021)

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Citer

F. Djeffal, Nacereddine Boubiche, H. Ferhati, Jacques Faerber, François Le Normand, et al.. Highly efficient and low-cost multispectral photodetector based on RF sputtered a-Si/Ti multilayer structure for Si-photonics applications. Journal of Alloys and Compounds, 2021, 876, ⟨10.1016/j.jallcom.2021.160176⟩. ⟨hal-03249129⟩

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