Proceedings/Recueil Des Communications
Année : 2019
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https://hal.science/hal-03178736
Soumis le : mercredi 24 mars 2021-03:54:00
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:40:45
Citer
Jeff Moussodji, Oswaldo Chacon, Francis Santerre, Dominique Drouin. Laser grooving of multi stack material modeling: implementation of a high accuracy tool for laser-grooving and dicing application. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIV, Feb 2019, San Francisco, SPIE, pp.12, 2019, ⟨10.1117/12.2504649⟩. ⟨hal-03178736⟩
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