Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Micro and Nano Engineering Année : 2021

Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls

Mathieu de Lafontaine
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Erwine Pargon
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Camille Petit-Etienne
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Sylvain David
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
Jean-Paul Barnes
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Névine Rochat
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Abdelatif Jaouad
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Maïté Volatier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Simon Fafard
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Vincent Aimez
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
Maxime Darnon
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
CV

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
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Soumis le : mercredi 6 octobre 2021-02:22:39

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Archivage à long terme le : vendredi 7 janvier 2022-18:09:19

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Dates et versions

hal-03171055 , version 1 (06-10-2021)

Identifiants

Citer

Mathieu de Lafontaine, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Sylvain David, Jean-Paul Barnes, et al.. Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls. Micro and Nano Engineering, 2021, pp.100083. ⟨10.1016/j.mne.2021.100083⟩. ⟨hal-03171055⟩

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