AlN/Pt/LN-Y128 packageless acoustic wave temperature sensor - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control Année : 2021

AlN/Pt/LN-Y128 packageless acoustic wave temperature sensor

Cecile Floer
Institut Jean Lamour
CV
Omar Elmazria
Institut Jean Lamour
CV
Natalya Naumenko
  • Fonction : Auteur
National University of Science and Technology
Florian Bartoli
Institut Jean Lamour
Jaafar Ghanbaja
Institut Jean Lamour
CV
Thierry Aubert
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes
CV
Sami Hage-Ali
Institut Jean Lamour

Domaines

Acoustique [physics.class-ph] Physique [physics] Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Omar ELMAZRIA  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03169653

Soumis le : lundi 15 mars 2021-15:00:44

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Archivage à long terme le : mercredi 16 juin 2021-18:55:53

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Dates et versions

hal-03169653 , version 1 (15-03-2021)

Identifiants

Citer

Cecile Floer, Omar Elmazria, Natalya Naumenko, Florian Bartoli, Jaafar Ghanbaja, et al.. AlN/Pt/LN-Y128 packageless acoustic wave temperature sensor. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, 2021, pp.1-1. ⟨10.1109/TUFFC.2021.3057269⟩. ⟨hal-03169653⟩

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