Thin film synthesis and micro patterning of lead free piezoelectric ceramic for composite pMUT applications

Sciences de l'ingénieur [physics] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Matériaux Acoustique [physics.class-ph]

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https://hal.science/hal-03166983

Soumis le : jeudi 11 mars 2021-16:23:04

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-13:26:03

Dates et versions

hal-03166983 , version 1 (11-03-2021)

Identifiants

HAL Id : hal-03166983 , version 1

Citer

Ahmad Hamieh, Freddy Ponchel, Denis Remiens. Thin film synthesis and micro patterning of lead free piezoelectric ceramic for composite pMUT applications. Piezoelectrics for End Users XI, Piezo2021, Feb 2021, Sassari, Italy. ⟨hal-03166983⟩

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