Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators

Résumé

In this work, we demonstrate the integration of piezoelectric actuation means on arrays of nanocantilevers at the wafer scale. We use lead titanate zirconate (PZT) as piezoelectric material mainly because of its excellent actuation properties even when geometrically constrained at extreme scale

Fichier principal
Vignette du fichier
LSIS_NMC_2013_THOMAS.pdf (98.33 Ko) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
Licence

Dates et versions

hal-03165172 , version 1 (10-03-2021)

Licence

Identifiants

  • HAL Id : hal-03165172 , version 1

Citer

Denis Dezest, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Caroline Soyer, Jean Costecalde, et al.. Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators. 2013 Nanomechanical Sensing Workshop, May 2013, Stanford, USA, United States. pp.0. ⟨hal-03165172⟩
333 Consultations
189 Téléchargements

Partager

  • More