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Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Role de couches sacrificielles et/ou protectrices pour le frittage de couches épaisses piezoélectriques. Application MEMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03151563 , version 1 (24-02-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03151563 , version 1

Citer

Hélène Debéda, Maria Isabel Rua Taborda, Onuma Santawitee, Simon Grall, Mario Maglione, et al.. Role de couches sacrificielles et/ou protectrices pour le frittage de couches épaisses piezoélectriques. Application MEMS. Journées Annuelles 2021 du Groupe Français de la Céramique, Mar 2021, Caen, France. ⟨hal-03151563⟩
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