An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor

Résumé

An on-chip gas detector that transduces absorbed terahertz light to a mechanical motion using photoacoustics is proposed. The silicon chip confines light in an optical cavity, wherein an acousto-mechanical cavity is housed. The concentration of a trace gas can be determined from the amplitude of a membrane's motion. The simulations presented predict a minimum detectable limit of 1 ppm of methanol for 1 mW of terahertz power and an integration time of 25 ms.
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Origine : Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte

Dates et versions

hal-03100252 , version 1 (08-01-2021)

Identifiants

Citer

Mattias Verstuyft, Elias Akiki, Benjamin Walter, Marc Faucher, Mathias Vanwolleghem, et al.. An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor. 2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8873764⟩. ⟨hal-03100252⟩
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