Oxide semiconductors and related devices produced by high power impulse magnetron sputtering and selective area atomic layer deposition methods - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Oxide semiconductors and related devices produced by high power impulse magnetron sputtering and selective area atomic layer deposition methods

Christy Fadel
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1058676
Stéphane Cuynet
Marcos Soldera
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1058678
J.F. Pierson
David Horwat
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03052137 , version 1 (10-12-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03052137 , version 1

Citer

Christy Fadel, Stéphane Cuynet, Claudia de Melo, Marcos Soldera, J.F. Pierson, et al.. Oxide semiconductors and related devices produced by high power impulse magnetron sputtering and selective area atomic layer deposition methods. 17th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2020, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-03052137⟩
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