Characterization of transport of neutral and ionized species in reactive HiPIMS process
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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| Licence |
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https://hal.science/hal-03052100
Soumis le : jeudi 10 décembre 2020-14:43:40
Dernière modification le : mardi 4 novembre 2025-14:40:43