Characterization of a distributed antenna array microwave plasma used for low-temperature/large-area nanocrystalline diamond film deposition - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Characterization of a distributed antenna array microwave plasma used for low-temperature/large-area nanocrystalline diamond film deposition

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Physique des plasmas [physics.plasm-ph] Plasmas
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Stéphane Béchu  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

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hal-03049712 , version 1 (17-12-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03049712 , version 1

Citer

Damia Dekkar, Fabien Benedic, Xavier Aubert, Stéphane Béchu, Alexandre Bès. Characterization of a distributed antenna array microwave plasma used for low-temperature/large-area nanocrystalline diamond film deposition. Plathinium, Sep 2019, Antibes, France. ⟨hal-03049712⟩

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