Characterization of a distributed antenna array microwave plasma used for low-temperature/large-area nanocrystalline diamond film deposition
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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| Licence |
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Soumis le : jeudi 17 décembre 2020-11:47:36
Dernière modification le : mercredi 3 décembre 2025-14:48:03