Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2020

Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing

Liang Tian
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Ivane Bottala-Gambetta
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Victor Marchetto
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Manoël Jacquemin
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Alexandre Crisci
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Roman Reboud
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Arnaud Mantoux
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Frédéric J. Mercier
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
Gregory Berthomé
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
André Sulpice
  • Fonction : Auteur
Magnétisme et Supraconductivité
Laetitia Rapenne
Laboratoire des matériaux et du génie physique
François Weiss
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des matériaux et du génie physique
Carmen Jiménez
Laboratoire des matériaux et du génie physique
Elisabeth Blanquet
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux
Fichier principal
Vignette du fichier
Thin Solid Films 2020 PEALD NbN Reviewed_version_VF.pdf (1.96 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Elisabeth BLANQUET  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02997691

Soumis le : jeudi 12 novembre 2020-17:44:15

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-18:18:09

Archivage à long terme le : samedi 13 février 2021-20:16:59

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-02997691 , version 1 (12-11-2020)

Identifiants

Citer

Liang Tian, Ivane Bottala-Gambetta, Victor Marchetto, Manoël Jacquemin, Alexandre Crisci, et al.. Improved critical temperature of superconducting plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium nitride thin films by thermal annealing. Thin Solid Films, 2020, 709, pp.138232. ⟨10.1016/j.tsf.2020.138232⟩. ⟨hal-02997691⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UGA CNRS NEEL SIMAP LMGP INC-CNRS ANR
109 Consultations
282 Téléchargements

Altmetric

Partager

More